 | Тематика |
|
| Название доклада | ПРОГРАММА РАСЧЁТА РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ БЕСКОНТАКТНЫХ МИКРОЗОНДОВ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ЗАРЯДОВ |
| | |
| Авторы | Белов А.П. |
| Аннотация | Программа предназначена для оценки разрещающей способности зондов с использованием одномерных и двумерных тестовых распределений заряда |
|